![](https://www.sdu.dk/-/media/images/samarbejde/industrisamarbejde_sb/teknologiomraader/orion_lab_2000x500.jpg)
ORION Nanofab og imaginglaboratorium
En Zeiss Orion NanoFab-facilitet, der består af et flerstrålet ionmikroskop dedikeret til mikro- og nanofremstilling og billeddannelse.
![Kvindelig forsker, der står ved Orion NanoFab mikroskopet](https://www.sdu.dk/-/media/images/samarbejde/industrisamarbejde_sb/teknologiomraader/luciana_orion_580x300.jpg?h=300&iar=0&w=580&hash=AEE3B08FFCF8EE96888CB460923099C4)
Beskrivelse
Laboratoriet er udstyret med et Zeiss Orion NanoFab - et flerstrålet ionmikroskop dedikeret til mikro- og nanofremstilling og billeddannelse. Hjertet i Orion NanoFab er ionkilden, der udsender atomskarpe stråler af helium- og neonioner, som er i stand til at generere billeder i høj opløsning og skære nanostrukturer ud.Billeddannelsessystemet i Orion-mikroskopet giver høj materialekontrast, stor fokusdybde og overfladefølsomhed, som er væsentligt bedre end den konventionelle scanningselektronmikroskopi. Den rumlige opløsning er i subnanometerområdet, som er tæt på transmissionselektronmikroskopers opløsning.
Som et materialestruktureringsværktøj er Orion NanoFab blandt blot nogle få systemer verden over, som dækker anvendelser for mikro- til nanobearbejdning.
Serviceydelser til virksomheder
- Prototyping af mikro- og nanostrukturer til en bred vifte af anvendelser, herunder følere, mikrofluidik-komponenter og mikrokølesystemer
- Billedbehandling i høj opløsning, herunder materialer til biologi og livsvidenskab
- Fejlanalyse af elektroniske komponenter
- Elektronisk og optisk kredsløbsredigering
Teknisk specifikation af udstyr
- Tre ionstråler (helium, neon og gallium) integreret i et instrument
- Billedopløsning: højere end 0,5 nm
- Fremstillingsværktøjer: strukturering gennem ionstrålefræsning og ionstråle kemisk nedbrydning i et område på under 10 nm til µm
- Ladningskompensation: med elektronflompistol
- Fremstillingssoftware: nano-mønster og visualiseringsprogram (NPVE).
Kontakt
Till Leißner
Lektor
SDU NanoSYD
Mads Clausen Instituttet
T 6550 8378
till@mci.sdu.dk