ORION Nanofab og imaginglaboratorium

     

Beskrivelse

Laboratoriet er udstyret med et Zeiss Orion NanoFab - et flerstrålet ionmikroskop dedikeret til mikro- og nanofremstilling og billeddannelse. Hjertet i Orion NanoFab er ionkilden, der udsender atomskarpe stråler af helium- og neonioner, som er i stand til at generere billeder i høj opløsning og skære nanostrukturer ud.

Billeddannelsessystemet i Orion-mikroskopet giver høj materialekontrast, stor fokusdybde og overfladefølsomhed, som er væsentligt bedre end den konventionelle scanningselektronmikroskopi. Den rumlige opløsning er i subnanometerområdet, som er tæt på transmissionselektronmikroskopers opløsning.

Som et materialestruktureringsværktøj er Orion NanoFab blandt blot nogle få systemer verden over, som dækker anvendelser for mikro- til nanobearbejdning.

     

Serviceydelser til virksomheder

• Prototyping af mikro- og nanostrukturer til en bred vifte af anvendelser, herunder følere, mikrofluidik-komponenter og mikrokølesystemer
• Billedbehandling i høj opløsning, herunder materialer til biologi og livsvidenskab
• Fejlanalyse af elektroniske komponenter
• Elektronisk og optisk kredsløbsredigering

Teknisk specifikation af udstyr

• Tre ionstråler (helium, neon og gallium) integreret i et instrument
• Billedopløsning: højere end 0,5 nm
• Fremstillingsværktøjer: strukturering gennem ionstrålefræsning og ionstråle kemisk nedbrydning i et område på under 10 nm til µm
• Ladningskompensation: med elektronflompistol
• Fremstillingssoftware: nano-mønster og visualiseringsprogram (NPVE).