Analyse- og karakteriseringslaboratorie
Vi tilbyder den fulde portefølje af udstyr for analyse af materialer og overflader, inklusive 3D scanning, avanceret mikroskopi og røntgentomografi:
- 3D optisk profilometer
- Atomart kraftmikroskop
- Renrumsteknologier
- Dynamisk lysspredning
- Spektroskopisk ellipsometri
- Fokuseret ionstråle-teknologi
- Gaskromatografi
- Infrarød spektroskopi (FTIR)
- Interferensmikroskopi
- Helium ion-mikroskopi
- Optisk 3D skannende tomografi
- Optisk og lasermikroskopi
- Skannende elektronmikroskopi inkl. energi-dispersiv røntgenanalyse (EDX)
- Stylus profilometri
- Tidsopløst fluorescensmikroskopi
- UV-Vis spektrofotometri
- Røntgentomografi (microCT)
Kemiske laboratorier
Laboratorie 1
Dette laboratorie er del af vores class 100 renrumsfacilitet. Det er placeret i et specielt område af renrummet, der giver mulighed for UV-følsomme eksperimenter. Den kontrollerede fugtigheds- og temperaturniveau afspejler de perfekte omgivelser for kritiske eksperimenter og mikrofremstilling.
- Vådbænke til ætsning
- Opløsningsmiddel-vådbænk til udvikling og lift-off
- Mask aligner for præcis fotolitografi
- HMDS ovn til adhæsionsfremme
- Spin coater, varmeplader og spin dryers for prøveprocessering
- Plasma asher for behandling af overflader.
Laboratorie 2
Dette er et grundlæggende kemilaboratorie, der råder over alt udstyr, som er nødvendig for forberedelse af prøver og opløsninger samt til sikker lagring af kemikalier. Her er det også muligt at opsætte forskellige eksperimentelle studier (fx anodisering af Al til fremstilling af porøse nanomaterialer).
Laboratorie 3
Dette laboratorie er del af Center for Industriel Elektronik og er specielt indrettet til kemisk analyse af elektroder, elektrolyter, isolering og andre materialer relateret til elektroniske komponenter.
- Ydedygtig væskekromatografi kombineret med massespektroskopi
- Ion-kromatografi
- Automatiseret titration
- pH/konduktivitetsmålinger
- Præcisions LCR-målinger.